序号

系统大类

子类

描述

1

串行WAT测试系统机架

系统主机柜

包括机柜，EMO模块，电源分配单元

工作站及系统软件

Win10工作站,ptSemight测试软件

电容表

外购（可选配）：

1fF~100nF测量范围

电压表

外购（可选配）：

7位半以上分辨率

信号分析仪

外购（可选配）：

9K~10M频率范围

垂直型高压开关矩阵

RM1012-HV（可选配）：

支持2通道低压（200V）,1通道高压（3500V）,1通道CMU输入，
内置CMU的HV-bias可达3000V，1通道输出至CHUCK

高压源测量单元（HVSMU）

可选配:

3500V, 120mA, 100uV/10fA（Semight S3030F）

1100V, 1A, 100nV/10fA（商用仪表）

2

串行WAT测试系统测试头

测试头主机

PXIe机箱

包括测试头主机机体，适配SMU，SPGU数量的PXIe机箱

低压低漏电流开关矩阵

RM1010-LLC（可选配）：

低漏电流开关矩阵主机，支持14通道输入，最高4张R1010G-LLC子卡插入支持到48通道输出¹

R1010G-LLC（可选配）：

低压低漏电流开关矩阵子卡，单张卡12通道输出，200V，1A，<100fA@10V(低漏电流通道)

通用型高压开关矩阵

RM1013-HV（可选配）：

通用型高压开关矩阵主机，支持10通道输入，支两通道3500V高压输入，最高3张R1013G-HV子卡插入支持到24通道输出

R1013G-HV（可选配）：

通用型高压开关矩阵子卡，单张卡8通道输出，每通道均支持3500V,1A，<1pA@10V（高压输入通道）

源测量单元（SMU）

S2012C（可选配）：

占位1槽，200V，1A，100nV/10fA

S2016C（可选配）：

占位1槽，200V，1A，100nV/1fA

高压脉冲发生单元(SPGU)

S3023P（可选配）：

占位2槽，±40V（Open）, ±20V（50Ω）

测试目标

Si/GaN/SiC等半导体器件的晶圆级WAT测试、WLR测试

测试项目（不限于）

IV/CV

Id-Vd，Id-Vg，Vth，BV，Ig，Ioff，Gm

MIM_CAP，C & G

Ic-Vc，BETA，BV

Ron，R_tlm，Rsh_van

Spot，Sweep，Search

Kelvin & Non-Kelvin

Differential Voltage

频率

Frequency

可靠性

HCI，BTI/NBTI，TDDB

直流测试

测试仪表

Semight S2012C，S2016C, S3030F, 商用仪表

测试功能

单点，扫描等

测试范围

S2012C：10fA to 1A 100nV to 200V

S2016C: 1fA to 1A 100nV to 200V

S3030F: 10fA to 120mA  100uV to 3500V

商用仪表: 10fA to 1A  100nV to 1000V

电容测试

测试仪表

商用仪表

测试功能

C/G

测试频率

1kHz，10kHz，100kHz，and 1MHz

测试范围

1fF to 100nF

常规直流偏置

±40 V

高压直流偏置

±3000 V

差分电压测试

测试仪表

商用仪表

测试范围

1µV to 100V

高速脉冲信号产生

信号发生器

Semight S3023P

信号幅度

±40V（开路）, ±20V（50Ω负载）

信号频率

0.1Hz to 10MHz

信号脉宽

60ns to (脉冲周期 - 60ns)

信号边沿

20ns（Vamp < 5V, 负载开路）

信号分析

分析仪表

商用仪表

频率范围

9K to 10M Hz

低压低漏电流开关矩阵

开关矩阵

Semight RM1010-LLC

输出通道

x12, x24, x36, x48

输入接口

最高支持8端口同时输入，其中两端口支持电漏电流输入

最高14端口输入，包含两个四选一端口用于外部仪表的串行测试

垂直型高压开关矩阵

开关矩阵

Semight RM1012-HV

输出通道

x1

输入接口

最高支持4端口输入，2通道低压（200V）,1通道高压（3500V）,1通道CMU输入，内置CMU HV-bias可达3000V

通用型高压开关矩阵

开关矩阵

Semight RM1013-HV

输出通道

x8, x16, x24，CHUCK

输入接口

最高10端口输入，6端口同时输入，包含两个三选一端口用于外部仪表的串行测试，两端口输入电压达3500V