序号

系统大类

子类

描述

1

串行WAT测试系统机架

系统主机柜

包括机柜，EMO模块，电源分配单元

工作站及系统软件

Win10工作站,ptSemight测试软件

电容表

外购（可选配）：

1fF~100nF测量范围

电压表

外购（可选配）：

7位半以上分辨率

信号分析仪

外购（可选配）：

9K~10M频率范围

2

串行WAT测试系统测试头

测试头主机柜，

PXIe机箱

包括测试头主机机体，适配SMU，SPGU数量的PXIe机箱

低漏电流开关矩阵

RM1010-LLC：

低漏电流开关矩阵主机，支持14通道输入，最高4张R1010G-LLC子卡插入并支持到48通道输出,独立专用Chuck输出

R1010G-LLC（可选配）：

低漏电流开关矩阵子卡，8通道输入12通道输出，200V，1A，<100fA@10V(低漏电流通道)

源测量单元（SMU）

S2012C（可选配）：

占位1槽，200V，1A，100nV/10fA

S2016C（可选配）：

占位1槽，200V，1A，100nV/1fA

高压脉冲发生单元(SPGU)

S3023P（可选配）：

占位2槽，±40V（Open）, ±20V（50Ω）

测试目标

Si/GaN/SiC等半导体器件的晶圆级WAT测试、WLR测试

测试项目（不限于）

IV/CV

Id-Vd，Id-Vg，Vth，BV，Ig，Ioff，Gm

MIM_CAP，C & G

Ic-Vc，BETA，BV

Ron，R_tlm，Rsh_van

Spot，Sweep，Search

Kelvin & Non-Kelvin

Differential Voltage

频率

Frequency

可靠性

HCI，BTI/NBTI，TDDB

直流测试

测试仪表

Semight S2012C，S2016C

测试功能

单点，扫描等

测试范围

S2012C：10fA to 1A 100nV to 200V

S2016C: 1fA to 1A 100nV to 200V

电容测试

测试仪表

商用仪表

测试功能

C/G

测试频率

1kHz，10kHz，100kHz，and 1MHz

测试范围

1fF to 100nF

直流偏置

±40 V

差分电压测试

测试仪表

商用仪表

测试范围

1µV to 100V

高速脉冲信号产生

信号发生器

Semight S3023P

信号幅度

±40V（开路）, ±20V（50欧负载）

信号频率

0.1Hz to 10MHz

信号脉宽

60 ns to (脉冲周期 - 60 ns)

信号边沿

20 ns（Vamp < 5V, 负载开路）

信号分析

分析仪表

商用仪表

频率范围

9K to 10M Hz

低漏电流开关矩阵

开关矩阵

Semight RM1010-LLC

输出通道

x12, x24, x36, x48

仪表接口

最高支持8端口同时输入，其中两端口支持电漏电流输入

最高14端口输入，包含两个四选一端口用于外部仪表的串行测试

两端口二选一输出到Chuck