特点
温度范围大，稳定性高
温度控制范围大：25-100 ℃
测试效率高
双测试载台，支持双侧面并行测试
重复性高
阈值电流重复性：<±1%
扩展性高
支持直流或者脉冲电源驱动激光器
| 系统参数 | 芯片类型 | CoC/CoS |
| 夹具类型 | 支持CoC老化系统相同的夹具 | |
| 标准 48 pcs 芯片夹具（可以定制） | ||
| 上下夹具 | 自动上下夹具 | |
| 夹具ID扫描识别 | 自动夹具Barcode扫描识别 | |
| 并行测试 | CoC夹具双侧面并行测试 | |
| 标准样品控制 | 软件支持标准样品管控功能。如果标准样品在本机台测试超过时间周期（可配置），系统自动告警 | |
| 测试机台控制 | 软件支持测试机台管控功能，如果相同夹具在老化前后分别在不同的测试机台进行测试，软件会自动产生告警提示。 | |
| 测试配置管控 | 软件支持测试配置管控，包括测试仪表，测试算法，测试序列，测试结果判断等。 | |
| 测试数据 | 支持用户要求的所有测试数据/支持MES相关的需求 | |
| 电学指标 | SMU类型 | 标准精密源表 |
| 直流电流 | 3 A | |
| I/V 源分辨率 | 10 fA/100 nV | |
| I/V 测量分辨率 | 10 fA/100 nV | |
| 电压范围 | 70 V | |
| 脉冲电流 | 10 A | |
| EOS | 无EOS（任何正常操作和使用条件下） | |
| 光学指标 | 光功率测量探测器类型 | Ge |
| 光功率波长范围 | 800-1700 nm | |
| 光功率测量范围 | 10 μW-300 mW（>25 mW需加衰减片） | |
| 光功率测量精度 | <0.2 dB | |
| 光谱测量范围 | 集成横河AQ6360 或其他光谱仪 | |
| 光谱测量精度 | ||
| 光功率耦合效率 | 耦合功率>-15 dBm | |
| 温度控制指标 | 温度控制方法 | TEC |
| 温度区域 | 2 个独立的温度控制区域（双载台） | |
| 温度范围 | 25-100 ℃ | |
| 温度变化速度（升温/降温） | 20 ℃/分钟 | |
| 温度分辨率 | 0.01 ℃ | |
| 温度精度 | 25-100 ℃: ±0.5 ℃+1%ΔT | |
| 温度一致性 | <±0.5 ℃ | |
| 温度稳定性 | <±0.2 ℃ | |
| 测试参数 | Ith重复性 | ±1% |
| 功率重复性 | ±1% | |
| SE 重复性 | ±2% | |
| 波长重复性 | <±0.15 nm | |
| SMSR 重复性 | <5 dB |
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