激光器测试
CT8203
低温芯片测试机
CT8203 支持激光器前向/后向光电测试以及前向光光谱测试。支持两个温区测试:两个测试平台以支持低温/常温并行测试。
CT8203 测试效率非常高,可以在6.5s(1次LIV+3次光谱)内完成上述6个流程。非常适合大批量量产应用。系统采用偏心凸轮结构、高精度直线电机、高重复性步进电机计、高精密夹具、高稳定性加电探针以及高导热载台,使其具有超高的精度和稳定性。
特点
全自动化、智能化集成解决方案
高度集成全自动化解决方案,覆盖非常复杂的测试流程高效率
提升效率,减少人为参与的潜在风险维护升级非常简单
所有机构件可以独立返厂方便使用
自动告警状态和提示显示,功能与优势
全自动化、智能化集成解决方案
上料模组
本模组由顶针Z模组,X/Y运动模组,蓝膜旋转模组4个子功能模块组成,左侧为校准用底部相机,搭配上方识别相机,和吸嘴运动模组,实现Chip 的取料功能。
Chip包装的兼容模式: 1个6寸扩晶环。
高/低温测试模组
本模组由直线运动模组实现Chip XYθ三个自由度的校准,3轴收光探测模组组成,搭配模组上方的ID/位置识别相机,和探针加电调整模组,完成上料后位置角度的校准工作,和Chip测试加电工作。PD/准直器使用运动轴实现功能快速切换。
测试台温度可根据工艺独立设定,温度稳定性<±0.2℃。
相机、探针加电模组
设备右侧上料相机搭配上料模组,完成Chip的上料识别功能(可根据来料需求搭配不同功能组件),测试模组上方的相机(设备中部),在Chip的上料动作完成后,通过多次拍照搭配3轴运动模组,完成Chip的位置校准(相机同步完成 Chip的ID识别)。
探针加电模组,每组搭配最多3组探针(可选配背光PD子功能模组),不同组合搭配,可实现DFB / EML、EML+SOA产品的 LIV、EA、光谱等相关参数的测试。
下料分档模组
下料模组配置4个载盘放置区域,可支持4个6寸蓝膜,或者根据客户需求定制兼容的下料载具。
参数类型 | 参数名称 | 参数指标 |
系统功能 | 支持产品类型 | 兼容客户指定的DFB、EML以及EML+SOA Die测试(根据DFB与EML腔长尺寸差异,测试载台可选择兼容或不兼容) |
测试项目 | 激光器前光与背光LIV,EML消光比与光谱测试 | |
测试温区数 | 2个温区 | |
ID识别 | 支持Chip ID识别 | |
芯片尺寸 | 长&宽≥150 μm,高≥80~150 μm |
|
吸嘴结构 | 特殊设计的吸嘴结构,先从料盒剥离,然后吸起 | |
测试参数 | Ith, Se, Iop, Pf, Vf,I r, PKink, Ikink, Rd, Pmax, IRoll, ER,λc, SMSR 等近百项参数,可根据需求进行增删 | |
上料料盒 | 支持1个6英寸蓝膜 | |
下料料盒 | 支持4个6英寸蓝膜 | |
下料分档 | 根据识别和测试结果将物料分类,物料分类条件可根据客户需求在软件进行编辑 | |
CDA要求 | >600 L/min(如果小于此流量将影响降露点速度) | |
电参数 | 源表类型 | 联讯自研高精度源表或其他指定类型 |
源表数量 | DFB激光器3台双通道源表,EML激光器4台双通道源表,EML+SOA激光器5台双通道源表 | |
加电类型 | 支持CW与Pulse方式加电 | |
DC电流源范围 | 3A, 1A, 100mA, 10mA, 1mA, 100μA | |
最小电源分辨率 | 20μA, 5μA, 500nA, 50nA, 5nA, 500pA | |
最小测量精度 | 0.03%+50 nA | |
DC电压源范围 | 30V, 10V, 1V | |
电压分辨率 | 100μV, 10μV, 1μV | |
最小电压测量精度 | 0.02%+1 mV | |
最小脉宽 | 250 μs | |
正常操作下冲 | 没有EOS | |
正常操作上冲 | 没有EOS | |
异常操作下冲 | 没有EOS | |
异常操作上冲 | 没有EOS | |
光参数 | 探测器类型 | Ge |
光功率探测波长范围 | 800-1700 nm | |
光功率测量范围 | 10 μW-25 mW(>25 mW可增加衰减片测量) | |
光谱测试波长范围 | 客户提供光谱仪或横河AQ6360 | |
光谱测试精度 | 客户提供光谱仪或横河AQ6360 | |
EA DCER精度 | ±0.2 dB | |
温度 | 控温方法 | TEC+水冷(带露点监控,露点可到-70℃以内) |
温度范围 | -40~95 ℃ | |
温度升温速度 | 室温升到90℃ < 5分钟 | |
温度下降速度 | 室温降到-40℃ < 10分钟 | |
温度精度 | ±0.5 ℃ | |
温度稳定性 | ±0.2 ℃ | |
系统指标 | Ith重复性 | ±1% |
Power重复性 | ±2% | |
波长重复性 | <±0.2 nm | |
SMSR 重复性 | <3 dB | |
ID识别一次成功率 | >99.5% | |
测试时间 | 6.5 s内完成所有操作(EML芯片根据测试项目不同会有差异) |
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