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功率芯片测试

PB6400

KGD测试分选系统


联讯仪器 PB6400 KGD测试分选系统设计用于功率芯片SiC静态&动态参数测试,支持Frame RingTape&Reel以及定制Tray 多种芯片包装方式。系统测试温度范围大,支持常温到高温185℃,针对高温测试,系统配置高温控制功能,高温测试效率高。支持1测试站到4测试站灵活可选,不同测试站可支持不同温度与测试项目,客户可根据测试需求定制化配置测试站,应用灵活。



特点

  • 设计灵活

    Handler部分与测试部分分离,可扩展性强
  • 多路并行测试

    最多支持四个测试站,不同测试站支持不同测试条件与测试项目
  • 支持动静态参数测试

    支持 2000V/200A 静态测试,2000V/1500A 动态测试
  • 温度稳定性高

    测试温度范围:RT~185℃,高温温度稳定性≤±3℃,分辨率 0.1℃
  • 加电针卡采用气密设计

    支持惰性气体保护以防高压打火
    支持腔体压力监测
  • 支持六面外观检查

  • UPH能力>900PCS

    单站测试时间≤1s
  • 系统功能丰富

    软件实现数据MAP功能,可以进行硬 Bin分档
    软件支持本地数据和数据库上传,支持EAP对接
    软件支持三级权限管理和多账号管理

类型

参数

指标

备注

基本参数

适用裸Die尺寸

3*3mm-8*8mm

 

适用裸Die厚度

100-400um

 

综合搬运精度

±30um

 

控温能力

温度范围

室温~185℃

 

温度分辨率

0.1℃

 

温度稳定性

≤±3℃

 

视觉检测能力

外观检测精度

≥12um

要求缺陷成像灰度与周边对比度超过40以上

缺陷检测项目

正面/背面:划痕、脏污、异物、炸点、缺角、崩边

 

侧面:崩边

 

稳定性

MTBF

>168H

 

MTBA

>2H

 

MTTA

5 min

 

MTTR

< 30 min

 

掉料率

≤0.01%

 

碎片率

≤0.01%

搬运造成

针痕深度

≤2um

 

Drain极开尔文

≤2Ω

TiNiAg材质

测试效率

单轨

≥500

测试时间≤1s

双轨并测

≥900

测试时间≤1s

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