功率芯片测试
PB6400
KGD测试分选系统
特点
设计灵活
Handler部分与测试部分分离,可扩展性强多路并行测试
最多支持四个测试站,不同测试站支持不同测试条件与测试项目支持动静态参数测试
支持 2000V/200A 静态测试,2000V/1500A 动态测试温度稳定性高
测试温度范围:RT~185℃,高温温度稳定性≤±3℃,分辨率 0.1℃加电针卡采用气密设计
支持惰性气体保护以防高压打火支持六面外观检查
UPH能力>900PCS
单站测试时间≤1s系统功能丰富
软件实现数据MAP功能,可以进行硬 Bin分档
类型 |
参数 |
指标 |
备注 |
基本参数 |
适用裸Die尺寸 |
3*3mm-8*8mm |
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适用裸Die厚度 |
100-400um |
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综合搬运精度 |
±30um |
|
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控温能力 |
温度范围 |
室温~185℃ |
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温度分辨率 |
0.1℃ |
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|
温度稳定性 |
≤±3℃ |
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视觉检测能力 |
外观检测精度 |
≥12um |
要求缺陷成像灰度与周边对比度超过40以上 |
缺陷检测项目 |
正面/背面:划痕、脏污、异物、炸点、缺角、崩边 |
|
|
侧面:崩边 |
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||
稳定性 |
MTBF |
>168H |
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MTBA |
>2H |
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MTTA |
5 min |
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MTTR |
< 30 min |
|
|
掉料率 |
≤0.01% |
|
|
碎片率 |
≤0.01% |
搬运造成 |
|
针痕深度 |
≤2um |
|
|
Drain极开尔文 |
≤2Ω |
TiNiAg材质 |
|
测试效率 |
单轨 |
≥500 |
测试时间≤1s |
双轨并测 |
≥900 |
测试时间≤1s |
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