联讯仪器PXIe源测量单元(SMU)集成高精度源和测量单元，可利用PXIe源测量单元构建高密度并行测试系统，以满足大规模半导体集成电路的高通道密度，并增加配置的灵活性，最大化测试效率，降低测试成本。

联讯仪器PXIe SMU基于先进的数字控制技术，集成的Adaptive PFC（Precision-Fast Control）系统使用户可根据负载特性，调整相关参数来获得精确、快速的输出特性, 即使在高容性负载情况下，也可最小化过冲和振荡。

1 主要特点

01 高电压高精度测量

S2013C 支持200V/1A直流/3A脉冲，分辨率100fA/100nV，电压精度100μV，电流精度200pA

02 Adaptive PFC系统

用户可利用Adaptive PFC(Precise-Fast Control)系统，用户可根据负载特性，调整相关参数，获得更精确，快速的输出特性

03 高速测量

S2013C 最高可支持1M的采样率，NPLC和采样率可根据需要设定，以满足高速高精度的测量场景

2 Adaptive PFC系统

SMU采用闭环反馈控制，以确保源的输出精确的加在负载上。实际使用中，对于不同的负载，要获得理想的响应，源表的输出特性需要可配置，然而传统的SMU使用模拟硬件来实现控制循环，负载会直接影响用于调节输出电压或电流的控制循环。因此传统的模拟架构很难实现既快又没有过冲，设计刚好能为不同负载提供理想响应的电路几乎不现实。

联讯PXIe源表采用数字控制系统， 集成的Adaptive PFC(Precise-Fast Control)系统，可通过软件优化控制循环，从而实现对不同负载的响应进行优化。该技术能够提供最佳响应时间，缩短测试时间，并且消除振荡，提高测试的稳定性。

通过数字闭环控制调节输出特性

调整前输出特性                          调整后输出特性

3 PXIe源测量单元在晶圆测试中的应用

晶圆（Wafer）制作完成之后，成千上万的裸Die规则的分布满整个Wafer，芯片的管脚全部裸露在外，通过探针将裸露的芯片与源测试单元相连，进行各项电性能参数的表征。

联讯仪器PXIe源表支持标准PXIe机箱，用户可根据需求配置不同槽位的机箱，将PXIe源表安装在机箱中，从而实现多路的并行测试，提高测试效率！

S2012C在CP（Chip Probing）测试中的应用

4 联讯源表系列

联讯仪器可提供台式源表（带主机和触摸屏）以及PXIe 插卡式源表（支持标准PXIe机箱），用户可根据需求灵活选择。