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高压台式源表

S3030F

高电压、高功率、大电阻电源/测量单元


联讯仪器S3030F是结构紧凑、经济高效的单通道高电压、高功率电源/测量单元,能够同时输出和测量电压和电流, 能够提供最大±3500V、±120mA(直流)、10 GΩ、180W功率输出,能广泛地应用在功率半导体特性,GaN、SiC表征,复合材料,高压漏电流等测试和研究领域。S3030F支持传统的SMU SCPI命令,让测试代码的迁移变得轻松快捷, 可支持多机同步,集成到生产测试系统中使用,以提高系统的测试效率并降低成本。 



特点

  • 高量程

    量程:±3500 V、±120 mA(直流)、180 W
  • 高分辨率

    最小测量分辨率可达1 fA/100 uV
  • 高采样率

    最高可支持1M的ADC采样率
  • 阈值触发

    硬件高速IO,可实现阈值触发,实现输出测量值和用户系统的高效交互

功能与优势

  • 直流I-V输出能力


    工作条件:
    温度23 °C ± 5 °C
    湿度30% 至 70% 相对湿度
    预热 60 分钟后测量,测量时环境温度变化小于± 3 °C
    校准周期1 年
    测量速度1PLC

电压源指标

电压设置精度

量程

设置分辨率

精度(1年)

±(%读数+ 偏置)

典型噪声(有效值)

0.1 Hz-10Hz

±3500 V

40 mV

0.02%+600 mV

50 mV

±2500 V

30 mV

0.02%+450 mV

40 mV

±1500 V

20 mV

0.02%+300 mV

25 mV

±600 V

7mV

0.02%+120 mV

10 mV

±200 V

3mV

0.02%+40 mV

3 mV

温度系数

±(0.15 × 精度指标)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)

设置时间

<5 mS (典型值)

过冲

<±1% (典型值,Normal,步进是范围的 10% 至 90%,满量程点,电阻性负载测试)

噪声10Hz-20MHz

1500V电压源,120 mA电阻负载,<200mV RMS


电流源指标

电流设置精度

量程

设置分辨率

精度(1年)

±(% 读数+偏置)

典型噪声(有效值)0.1Hz-10Hz

±120 mA1

3 uA

0.02% + 35 uA

120 uA

±20 mA

400 nA

0.02% + 15 uA

20 uA

±10 mA

200 nA

0.02% + 3 uA

10 uA

±1 mA

20 nA

0.02% + 300 nA

1 uA

±100 uA

2 nA

0.02% + 30 nA

100 nA

±10 uA

200 pA

0.03% + 5 nA

10 nA

±1 uA

20 pA

0.03% + 1 nA

1 nA

±100 nA

2 pA

0.2% +100 pA+Vo x 100 fA

100 pA

±10 nA

200 fA

0.2% + 10 pA+ Vo x 10 fA

10 pA

±1 nA

20 fA

0.2% + 5 pA+ Vo x 1 fA

1 pA

温度系数

±(0.15 × 精度指标)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)

设置时间

<10 ms (典型值)

过冲

<±1% (典型值,Normal,步进是范围的 10% 至 90%,满量程点,电阻性负载测试)

1,120mA量程仅支持1500V及以下电压量程


电压表指标

电压测量精度

量程

显示分辨率

精度(1年)±(%读数+偏置)

±3500 V

1 mV

0.02%+600 mV

±2500 V

1mV

0.02%+450 mV

±1500 V

1 mV

0.02%+300 mV

±600 V

100 uV

0.02%+120 mV

±200 V

100 uV

0.02%+40 mV

温度系数

±(0.15 × 精度指标)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)


电流表指标


电流测量精度

量程

显示分辨率

精度(1年)  ±(% 读数+偏置)

±120 mA1

100 nA

0.02% + 35 uA

±20 mA

10 nA

0.02% + 15 uA

±10 mA

10 nA

0.02% + 3 uA

±1 mA

1 nA

0.02% + 300 nA

±100 uA

100 pA

0.02% + 30 nA

±10 uA

10 pA

0.03% + 5 nA

±1 uA

1 pA

0.03% + 1 nA

±100 nA

100 fA

0.2% +100 pA+Vo x 100 fA

±10 nA

10 fA

0.2% + 10 pA+ Vo x 10 fA

±1 nA

1 fA

0.2% + 5 pA+ Vo x 1 fA

温度系数

±(0.15 × 精度指标)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)


1,120mA量程仅支持1500V及以下电压量程


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