特点

高精度
分辨率高达10 fA/100 nV
高量程、高速测量
±200 V、±1 A(直流)、
Adaptive PFC系统
支持用户修改Adaptive PFC
SWEEP模式
支持单边和双边的线性,对数,列表扫描功能与优势

5功能于一身
电压源

可测试各种设备

捕获更多的测量数据
♦ 6 位半的数字分辨率: 精度相当于6 位半数字万用表;
丰富的扫描功能

直流I-V输出能力

脉冲I-V输出能力
电压指标
|
电压精度 |
量程 |
分辨率 |
精度(1年) ±(%读数+偏置) 【1】 |
典型噪声(有效值) 0.1 Hz-10 Hz |
|
±200 V【2】 |
100 μV |
0.03% + 10 mV |
0.4 mV |
|
|
±20 V |
10 μV |
0.03% + 1 mV |
50 μV |
|
|
±6 V |
1 μV |
0.03% + 0.4 mV |
12 μV |
|
|
±0.6 V |
100 nV |
0.03% + 100 μV |
3 μV |
|
|
温度系数 |
±(0.15×精度指标)/℃(0℃-18℃,28℃-50℃) |
|||
|
过冲 |
<±0.1%(典型值,Normal,步进是范围的10%至90%,满量程点,电阻性负载测试) |
|||
|
噪声 10Hz-20MHz |
<5 mVrms ,20 V电压源,1 A电阻负载 |
|||
[1]精度计算示例:测试600mV量程120mV输出的精度,则允差为:
[2]本仪表有潜在的危险高压(±210 V)输出到HI /Sense HI/Guard端子,为防止电击,在开机前必须做好相关的安全防范措施。请勿将Guard端子接到任何输出,包括短接到机箱地或是输出LO,否则会损坏仪表
电流指标
|
电流精度 |
量程 |
分辨率 |
精度(1年) ±(%读数+偏置) |
典型噪声(有效值) 0.1Hz-10Hz |
|
±3 A【3】 |
1 μA |
0.03% + 2 mA |
40 μA |
|
|
±1 A |
100 nA |
0.03% + 90 μA |
7 μA |
|
|
±100 mA |
10 nA |
0.03% + 9 μA |
600 nA |
|
|
±10 mA |
1 nA |
0.03% + 900 nA |
60 nA |
|
|
±1 mA |
100 pA |
0.03% + 90 nA |
6 nA |
|
|
±100 μA |
10 pA |
0.03% + 9 nA |
700 pA |
|
|
±10 μA |
1 pA |
0.03% + 1 nA |
80 pA |
|
|
±1 μA【4】 |
100 fA |
0.03% + 200 pA |
20 pA |
|
|
±100 nA【4】【5】 |
100 fA |
0.06% + 30 pA |
3 pA |
|
|
±10 nA【4】【5】 |
10 fA |
0.06% + 9 pA |
600 fA |
|
|
温度系数 |
±(0.15×精度指标)/℃(0℃-18℃,28℃-50℃) |
|||
|
过冲 |
<±0.1%(典型值,Normal,步进是范围的10%至90%,满量程点,电阻性负载测试) |
|||
[3]3A量程仅支持脉冲模式,精度为典型值
[4]微弱小电流测量,建议保持使用三同轴线缆连接,若使用三同轴端子转为普通接线的输出方式,会影响仪表的电流精度
[5]附加规格条件:NPLC配置10PLC
| 最小可编程脉宽 | 100 μs | |||||||
| 脉宽编程分辨率 | 1 μs | |||||||
| 脉宽编程精度 | ±10 μs | |||||||
| 脉宽抖动 |
2 μs |
|||||||
| 脉冲宽度定义 | 如下图所示,从 10 % 前沿到 90 % 后沿的时间 | |||||||

| 最大电流限制 | 最大脉冲宽度 | 最大占空比 | |||
| 0.1 A/200 V | DC,无限制 | 100% | |||
| 1 A/20 V | DC,无限制 | 100% | |||
| 3 A/66. 6V | 1 ms | 5% | |||
| 3 A/160 V |
400 μs |
2% |
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